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劉學(xué)峰 |
千人計劃特聘專家,南京理工大學(xué)電子工程與光電技術(shù)學(xué)院教授,博士生導(dǎo)師。同時任職紫金特聘教授、IEEE會員、OE雜志副主編、移動互聯(lián)網(wǎng)雜志編委。 曾組織參與世界光通信器件公司Bookham核心項目研發(fā)、集成電路光刻機廠家ASML光學(xué)成像部世界前沿機型研發(fā)。近年注重參與重大專項、組織973和基金重大儀器專項申請等并已獲得江蘇省雙創(chuàng)團隊項目。國內(nèi)外多年研發(fā)中共設(shè)計制作了15個大型光學(xué)測量和波前控制系統(tǒng),擁有大量知識產(chǎn)權(quán)其中包括15項。同時在光刻工程、光通信器件、光波前控制器件與系統(tǒng)、納米和亞納米級光波前偏差、物質(zhì)結(jié)構(gòu)和形貌檢測等方面發(fā)表文章50多篇。 研究方向:光柵掩模設(shè)計、電子束刻與光刻工藝等領(lǐng)域 |
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